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μLF-300S 초음파 액체유량계 미소유량계 (센서분리형)

*μLF-300S(센서분리형)，μLF-300(일체형)

- IPA·순수 약액 등의 반도체 제조 공정에 있어서의 작은 영역의 유량 관리
- 1mL/min 부터 미세한 유량 측정 가능
- 디지털 신호 처리에 의한 미소 유량 정밀 측정
- 센서 부분이 유체 비접촉 구조
- 넓은 레인지어빌리티(기기의 사양에 표시된 정밀도 평가로 교정 가능한 최대 스팬과 최소 스팬의 비율)

Specifications

모델: μLF-300S (변환기) + μLT8I ／ μLT-4I (센서)

측정 방법: 초음파 통과 시간 방법

적용 가능한 액체: 물, 수용액, 기름, 약액
※ 물에 사용하지 않을 경우주의하시기 바랍니다.

액체 온도: 15 ℃ ～ 80 ℃
( 60 ° C 이상인 경우 사전에 확인하시기 바랍니다.)

액체 압력: 0.5MPa 이하

유체 동점도: 100mm ^ 2 / sec 미만

측정 범위: 0 ml / 분 ~ 1000 ml / 분 (μLF-300S + μLT-8I)
0 ml / 분 ~ 4000 ml / 분 (μLF-300S + μLT-4I)

정확도 (실온 물): ± 0.5 % RD (1/8 인치 : 200 ~ 1000ml / 분)
± 1ml / 분 (1/8 인치 : 0199ml / 분)
± 0.5 % RD (1/4 인치 : 800 ~ 4000ml / 분)
± 4ml / 최소 (1/4 인치 : 0 ~ 799ml / 분)