가스 측정기 > PS-7 반도체 가스감지기
PS-7 반도체 가스감지기
PS-7 GAS DETECTION AND ALARM SYSTEMS
특징
* 센서 유닛의 교환에 의하여 다양한 종류의 가스를 한 대로 검지할 수 있는 반도체 재료 가스 용 가스검지부.
* 센서 유닛은 교정이 완료된 상태로 배송되기 떄문에 현장에서의 가스 교정이 불필요. 또한 센서 유닛 교환은 별도의 공구가 필요없는 간편 구조
* 소형 및 경량의 콤팩트한 설계
* LCD 표시에서 가스 농도, 경보 상태, 에러 메시지를 알기 쉽게 표시
* 샘플링 유량의 자동 제어 기능 탑재
* 설정과 다른 센서 유닛이 삽입된 경우 이상을 알리는 센서 유닛의 오삽입 방지 기증 탑재
* PDA를 연결함으로써 검지부 내에 축적된 데이터의 처리가 가능
* 컨버터 유닛(옵션)사용으로 NF3 및 CCL2의 검지가 가능
* CE 규격적합
* SEMI 규격적합
* 센서 유닛의 교환에 의하여 다양한 종류의 가스를 한 대로 검지할 수 있는 반도체 재료 가스 용 가스검지부.
* 센서 유닛은 교정이 완료된 상태로 배송되기 떄문에 현장에서의 가스 교정이 불필요. 또한 센서 유닛 교환은 별도의 공구가 필요없는 간편 구조
* 소형 및 경량의 콤팩트한 설계
* LCD 표시에서 가스 농도, 경보 상태, 에러 메시지를 알기 쉽게 표시
* 샘플링 유량의 자동 제어 기능 탑재
* 설정과 다른 센서 유닛이 삽입된 경우 이상을 알리는 센서 유닛의 오삽입 방지 기증 탑재
* PDA를 연결함으로써 검지부 내에 축적된 데이터의 처리가 가능
* 컨버터 유닛(옵션)사용으로 NF3 및 CCL2의 검지가 가능
* CE 규격적합
* SEMI 규격적합
Specifications
- 검지원리
- 전기화학 전지, 열선반도체, 갈바니 전지
- 샘플링 방법
- 추출형 (샘플유량: 0.5L/min, 자동제어)
- 샘플링 튜브 ※1
- 테프론 – 외경: 6mm, 내경: 4mm, 튜브 길이: 20m 이하
- 가스 농도 표시
- 4자리 LCD(측정 단위 포함), 20 – 단계 막대 그래프
- 알람 표시
- 가스 경보(1 및 2단계)
– 경보: 적색 LED 램프 점멸
LCD – 1단계 ALARM1, 2단계 ALARM1 및 ALARM2
저유량 경보
– 막힘 표시: LCD – 유량 표시가 천천히 회전
– 경보: 노란색 LED 램프 깜박임
LCD – FLOW 표시, Flow 표시가 회전을 멈춤
센서 고장 경보/잘못된 센서 삽입 경보
– 경보: 노란색 LED 램프 깜박임
LCD – SENS. 표시
열분해조 단선 경보*2
– 경보: 황색 LED 램프 점멸
LCD – CONV. 표시
- 외부 출력
- – 가스 농도 아날로그 출력: 4-20mADC(전원과 공유)
음극 단자)
– 가스 경보 접점(1단 및 2단): 1a 무전압 접점/논래칭
– 고장 경보 접점(오픈 컬렉터/자동복귀)
- 적합 케이블
- 3C 또는 4C 차폐 제어 케이블(φ8-11mm) x 2
- 작동 온도 / 습도
- 0 ~ 40 °C(급변 없음)
30~85%RH(결로 없을 것)
- 전원
- 24VDC ±10%
- 전력 소비
- 약 7W
- 치수
- W62 X H124 X D143 mm (옵션 및 돌출부 제외)
- 무게
- 약 1.0kg
- 설치
- 벽걸이
- 비고
- ※1 테프론을 권장합니다. 단, 가스흡착능력이 높을 경우의 운전조건에 따라 다르므로 자세한 사항은 당사로 문의하시기 바랍니다. 위의 사양은 사전 예고 없이 변경될 수 있습니다.
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