유량계 > μLF-300 초음파 액체유량계
μLF-300 초음파 액체유량계
*μLF-300S(센서분리형)，μLF-300(일체형)
- IPA·순수 약액 등의 반도체 제조 공정에 있어서의 작은 영역의 유량 관리
- 1mL/min 부터 미세한 유량 측정 가능
- 디지털 신호 처리에 의한 미소 유량 정밀 측정
- 센서 부분이 유체 비접촉 구조
- 넓은 레인지어빌리티(기기의 사양에 표시된 정밀도 평가로 교정 가능한 최대 스팬과 최소 스팬의 비율)
- IPA·순수 약액 등의 반도체 제조 공정에 있어서의 작은 영역의 유량 관리
- 1mL/min 부터 미세한 유량 측정 가능
- 디지털 신호 처리에 의한 미소 유량 정밀 측정
- 센서 부분이 유체 비접촉 구조
- 넓은 레인지어빌리티(기기의 사양에 표시된 정밀도 평가로 교정 가능한 최대 스팬과 최소 스팬의 비율)
Specifications
- 형식
- μLF-308I (1/8 inch) 또는 μLF-304I (1/4 inch)
- 측정 원리
- 초음파 전파 시간차 방식
- 측정 액체
- 물, 수용액, 유류, 각종 약액
(* 물 이외의 액체의 경우는 사전에 확인필요)
- 적용 유체 온도 범위
- 10 ℃ ~ 60 ℃
(* 60℃ 이상의 경우에는 사전에 확인필요)
- 환경 온도 범위
- 온도: 0℃ ~ 50℃ (결로가 없을 것)
- 유량 범위
- 0 ml / min ~ 1000 ml / min (μLF-308I)
0 ml / min ~ 4000 ml / min (μLF-304I)
- 측정 정밀도
- * ±1% RD (1/8 inch : 200~1000ml/min, 온도, 물의 경우)
* ±2ml/min (1/8 inch : 0~199ml/min)
* ±1% RD (1/4 inch : 800~4000ml/min, 온도, 물의 경우)
* ±8ml/min (1/4 inch : 0~799ml/min)
- 응답성
- 10 msec
- 반복성
- ± 0.2% (액온 ±0.5℃, 30초 평균치)
- 구조
- 실내 사양 (IP65 상당)
- 전원
- DC 5V ±10%
- 소비 전력
- 1.5W 이하
- 무게
- 350g (본체만)
- 검출부
- 1) 튜브 소재: PFA (불소 수지)
2) 튜브 직경 1/8 inch OD : 3.17mm, ID : 2.17mm, 1/4 inch OD : 6.35mm, ID : 4.35mm
- 출력부
- 1) 시리얼 포트: 4선식 RS-422
2) 통신 프로토콜: 데이터 비트 8bit 고정, 짝수 패리티 고정, 정지 비트 1bit 고정
3) 전송 속도: 38400 bau
4) 시리얼 출력 데이터 내용: 순간 유량값, 적산 유량값, 오류 코드
Overview
