가스 측정기 > XP-703DⅢ 반도체 재료 가스 탐지기
XP-703DⅢ 반도체 재료 가스 탐지기
XP-703DIII PORTABLE GAS DETECTORS
01. 용도
* 반도체 공장등 독성 가스를 사용하는 현장에서의 가스 누출 검사에 이용
* 수소 관련 설비의 보안에 이용
02. 특징
* 반도체 재료 가스 미량 누출 검지 가능
* 가스 농도의 변화에 의해, 경보음(단속음)의 스피드가 서서히 변화하고 고농도가 되면 연속음으로 알려주기 때문에 가스 누출 장소의 발견이 용이
* 한대로 다양한 반도체 재료가스(아르신, 포스핀, 시보란, 실란, 수소등)에 이용
* 기존 제품보다 대폭 소형, 경량화를 실현. 한손에 쏙 들어오는 컴팩트한 바디
* 전지 잔량 및 펌프 상태 등, 기기의 상태를 손쉽게 알수 있도록 LCD 화면 탑재.
* 알람 램프를 정면과 바닥면 2곳에 탑재하여, 작업중에도 경보 알람이 용이.
* 보호 등급IP22(JIS C 0920)상당 ※보호케이스 장착 시
03. 지정 가능 가스
* 아르신[AsH3], 디클로로 실란[SiH2CI2], 디보란[B2H6], 수소[H2], 반도체 재료 가스, 포스핀[PH3], R407C, R410A
* 반도체 공장등 독성 가스를 사용하는 현장에서의 가스 누출 검사에 이용
* 수소 관련 설비의 보안에 이용
02. 특징
* 반도체 재료 가스 미량 누출 검지 가능
* 가스 농도의 변화에 의해, 경보음(단속음)의 스피드가 서서히 변화하고 고농도가 되면 연속음으로 알려주기 때문에 가스 누출 장소의 발견이 용이
* 한대로 다양한 반도체 재료가스(아르신, 포스핀, 시보란, 실란, 수소등)에 이용
* 기존 제품보다 대폭 소형, 경량화를 실현. 한손에 쏙 들어오는 컴팩트한 바디
* 전지 잔량 및 펌프 상태 등, 기기의 상태를 손쉽게 알수 있도록 LCD 화면 탑재.
* 알람 램프를 정면과 바닥면 2곳에 탑재하여, 작업중에도 경보 알람이 용이.
* 보호 등급IP22(JIS C 0920)상당 ※보호케이스 장착 시
03. 지정 가능 가스
* 아르신[AsH3], 디클로로 실란[SiH2CI2], 디보란[B2H6], 수소[H2], 반도체 재료 가스, 포스핀[PH3], R407C, R410A
Specifications
- 검지 대상 가스
- 반도체 재료가스(H2, AsH3, PH3, B2H6, SiH4)
- 채기 방식
- 자동흡입식
- 검지 원리
- 열선형반도체식
- ■ H2
- 검지가능 누출량: 5.07×10E-7
검지가능농도(PPM): 1.0
- ■ AsH3
- 검지가능 누출량: 2.53×10E-7
검지가능농도(PPM):0.5
- ■ B2H6
- 검지가능 누출량: 1.01×10E-7
검지가능농도(PPM): 0.2
- ■ SiH4
- 검지가능 누출량: 2.53×10E-7
검지가능농도(PPM): 0.5
- ■ PH3
- 검지가능 누출량: 1.52×10E-7
검지가능농도(PPM): 0.3
- 응답 시간
- 10초 이내
- 검지 표시
- 부저 또는 알람램프 점멸
- 전원
- 단3형(AA) 알칼리 전지(2개)
- 연속 사용 시간
- 약 12시간
(단3형 알칼리 건전지, 상온/상습 환경)
- 보호 등급
- IP22와 동일
- 사용온도범위
- 0 ~ +40℃, 85% RH 이하(결로 없을시)
- 크기
- 약 W38 x H130 x D32 mm (돌출부 제외)
- 무게
- 약 190g (전지 및 가죽 케이스 포함)
- 표준 부속품
- 가죽 케이스, 드레인 필터, 교체용 필터엘레멘트, 부속부품, 점검가스, 핸드 스트랩, 단3형(AA)알카라인 건전지 등
Overview
유독 가스가 있는 반도체 공장에서의 가스 누출 검사
수소 관련 장비의 안전
